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對于抗反射蛾眼2D周期性亞波長結(jié)構(gòu)，需要對其進(jìn)行嚴(yán)格的矢量計算和分析，通過使用VirtualLab Fusion提供的傅里葉模態(tài)法（Fourier Modal Method，F(xiàn)MM）以及參數(shù)運(yùn)行（New Parameter Run）和參數(shù)優(yōu)化（New Parameter Optimization）功能，可以實(shí)現(xiàn)不同角度以及不同波長條件下低反射率的蛾眼結(jié)構(gòu)的設(shè)計。

目前，我們采用納米壓印技術(shù)，可以在玻璃或塑料膜表面制作大面積的蛾眼結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)減反效果。在可見光范圍內(nèi)可以將材料表面的反射率降低到小于0.2%。在紅外波段，結(jié)合納米壓印和等離子刻蝕工藝，可以在硅表面加工蛾眼結(jié)構(gòu)來減少其對紅外光的反射。

VirtualLab Fusion設(shè)計的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)

加工出來的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)